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基于变间距光栅位移传感器的基本原理,研究了高线密度变化率全息平面变间距光栅的制作方法.所作的变间距光栅已应用在变间距光栅位移传感器中,原理样机测试结果表明,系统分辨率可以达到0.05 mm,相对误差可以控制在0.2% FS之内,优于设计指标.
7全息平面变间距光栅位移传感器研究
【摘 要】
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基于变间距光栅位移传感器的基本原理,研究了高线密度变化率全息平面变间距光栅的制作方法.所作的变间距光栅已应用在变间距光栅位移传感器中,原理样机测试结果表明,系统分辨
【机 构】
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中国计量学院,中国科学技术大学,西安航空618研究所
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2007年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金（50375149,10272098）、航空科学基金（01I1810）和中国计量学院校立基金（2006YB04）资助
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