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期刊论文
晶圆探针卡的分类及设计参数
晶圆探针卡的分类及设计参数
来源 :卷宗 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jackmengxiaojing
【摘 要】
:
晶圆探针卡是半导体在制造晶圆阶段的重要测试分析接口,通过连接测试机和芯片传输信号对芯片参数进行测试。本文在介绍探针卡定义及分类基础上,详细说明探针卡的主要设计参数。
【作 者】
:
蔡瑾
【机 构】
:
飞思卡尔半导体中国有限公司
【出 处】
:
卷宗
【发表日期】
:
2014年1期
【关键词】
:
悬臂探针卡
垂直探针卡
分类
设计参数
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晶圆探针卡是半导体在制造晶圆阶段的重要测试分析接口,通过连接测试机和芯片传输信号对芯片参数进行测试。本文在介绍探针卡定义及分类基础上,详细说明探针卡的主要设计参数。
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