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叙述了１００ｋｅＶ金属表面改性离子注入与混合两用机的总体结构及各主要部件的技术参数。该机经过调试各项主要指标已达到设计要求，工作稳定可靠，已开始金属材料表面改性实验。
100keV金属表面改性离子注入与混合两用机
【摘 要】
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叙述了１００ｋｅＶ金属表面改性离子注入与混合两用机的总体结构及各主要部件的技术参数。该机经过调试各项主要指标已达到设计要求，工作稳定可靠，已开始金属材料表面改性实验。
【机 构】
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中国科学院高能物理研究所
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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1994年1期
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