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构造了三维蒙特卡罗模型来研究了六边形基底薄膜生长的整个过程，模型中考虑了针对每个原子的三个动力学过程：原子沉积、原子扩散及原子脱附，并且认为这三个过程是相互独立的，即在同一计算步长中，三个过程依据各自的概率发生。经过生长过程可视化的结果表明，薄膜原子之间的相互作用能、基底温度及沉积速率对薄膜的生长方式有显著影响，这一结论也得到了实验的验证。