切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
硅片边缘位置稳定装置的设计研究
硅片边缘位置稳定装置的设计研究
来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wysnl2009
【摘 要】
:
在高端光刻机中,为提高预对准的精度,需要对预对准过程中硅片的边缘位置进行稳定.文中对-种硅片边缘位置稳定装置的设计原理、结构、仿真测试进行了详尽的描述,并提出了该方
【作 者】
:
胡松立
【机 构】
:
上海微电子装备(集团)股份有限公司
【出 处】
:
集成电路应用
【发表日期】
:
2018年10期
【关键词】
:
集成电路制造
硅片
边缘位置
稳定装置
integrated circuit manufacturing
wafer
edge position
stabili
【基金项目】
:
上海市发展和改革委员会(XA4300089-2017-604)先进封装光刻机产业化课题.
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
在高端光刻机中,为提高预对准的精度,需要对预对准过程中硅片的边缘位置进行稳定.文中对-种硅片边缘位置稳定装置的设计原理、结构、仿真测试进行了详尽的描述,并提出了该方向可以进一步研究的技术点.
其他文献
浅论举债办学资金的监控使用
本文论述了举债办学对当前高校跨越式发展具有的重要作用,对举债办学资金用途提出明确界定,并就举债办学资金的监控提出了五点具体建议.本文对生产性负债和消费性负债等金融
期刊
举债办学
资金
高校
生产性负债
消费性负债
金融管理
中国
run school in debt
fund
control
productive lia
用PowerBuilder实现标签页式应用程序界面
标签页式用户界面简洁、清晰,适用于从小型到大型的各类数据库应用程序.本文介绍一种基于Power-Builder和PFC的标签页式界面的实现方法.
期刊
POWERBUILDER
标签页
数据库
用户界面
PFC
设计原则
tab page
user interface
PowerBuilder
method
从政治的高度研究产权与民主的演进
从政治的高度研究产权与民主的演进唐贤兴,郑益文产权与民主是现代社会的两种基本的制度安排。从唯物史观来看,它们是紧密联系在一起的。社会主义市场经济建设的一个中心内容是要建立现代产权制度,而社会主义政治发展的根本目标是要建立中国特色的民主政治。很明显,产...
期刊
社会主义民主政治
产权结构
社会主义公有制
资本主义生产
马克思主义
社会主义政治发展
资产阶级
私有化
民主模式
共同富裕
论对中国特色社会主义理论的探索
论对中国特色社会主义理论的探索李耀楠,李俊,王化凯在社会主义革命和建设事业中走出一条符合中国具体实际的积极稳妥的发展道路是中国共产党人的一以贯之的根本追求和坚持不懈的求索目标。以毛泽东同志为核心的第一代中央领导集体,领导全党和全国各族人民,完成了中国...
期刊
毛泽东思想
建设有中国特色的社会主义理论
社会主义建设道路
《邓小平文选》
建设有中国特色社会主义
邓小平的探索
社会主义基本矛盾
解放思想
马克思主义
思想路
输血科管理信息系统应用介绍
随着医院规模不断扩大,输血科实验室工作量日益增大,既往使用的输血科管理软件已不能满足现阶段输血科实验室检测工作的需求。我科新开发的输血科管理信息系统在确保操作规范的
期刊
管理信息系统
输血科
实验室检测
临床用血安全
计算机技术
医院规模
管理软件
工作人员
《复合材料学报》分类目录第五卷(1988)
<正>~~
期刊
分类目录
环氧复合材料
混杂复合材料
正交层板
材料力学性能
碳纤维增强
复合材料层
宋焕成
橡胶复合材料
金属基复合材料
慢性阻塞性肺病“医保”与非“医保”患者抗菌药物利用分析
目的:了解慢性阻塞性肺病(COPD)“医保”与非“医保”患者抗菌药物的利用情况。方法:对我院2003年1月1日~2006年6月30日171例COPD患者(“医保”107例、非“医保”64例)抗菌药物的应
期刊
慢性阻塞性肺病
医疗保险
抗茵药物
用药频度
合理用药
Chronic obstructive pulmonary disease (COPD)
Medic
相转移催化法合成α—蒎酮酸
期刊
催化剂
相转移催化
蒎酮酸
蒎烯
黄庭坚与黄斌老交游考
黄庭坚获罪流放四川戎州度过的近三年时光,是其诗文创作和书法艺术风格走向成熟的人生重要时期,戎州当地画家黄斌老对黄庭坚产生了一定的影响。黄斌老是黄庭坚谪居戎州期间主
期刊
黄庭坚
黄斌老
戎州
交游考
介质覆盖矩形微带天线的谐振频率
期刊
飞行器
天线
微带天线
介质覆盖
与本文相关的学术论文