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电浆制程技术厂商STS（Surface Technology Systemsplc）最近宣布，该公司新一代Pegasus晶圆深层蚀刻机（DRIE）已争取到德国自动化微机电系统（MEMS）设备制造大厂博世（Robert Gosch GmbH）的订单。
STS的MEMS晶圆深层蚀刻机赢得Bosch订单
【摘 要】
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电浆制程技术厂商STS（Surface Technology Systemsplc）最近宣布，该公司新一代Pegasus晶圆深层蚀刻机（DRIE）已争取到德国自动化微机电系统（MEMS）设备制造大厂博世（Robert Gosch GmbH）的
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2005年10期
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