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STS的MEMS晶圆深层蚀刻机赢得Bosch订单
STS的MEMS晶圆深层蚀刻机赢得Bosch订单
来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xinshili100
【摘 要】
:
电浆制程技术厂商STS(Surface Technology Systemsplc)最近宣布,该公司新一代Pegasus晶圆深层蚀刻机(DRIE)已争取到德国自动化微机电系统(MEMS)设备制造大厂博世(Robert Gosch GmbH)的
【出 处】
:
集成电路应用
【发表日期】
:
2005年10期
【关键词】
:
微机电系统(MEMS)
蚀刻机
订单
晶圆
Technology
STS
PEGASUS
制程技术
设备制造
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电浆制程技术厂商STS(Surface Technology Systemsplc)最近宣布,该公司新一代Pegasus晶圆深层蚀刻机(DRIE)已争取到德国自动化微机电系统(MEMS)设备制造大厂博世(Robert Gosch GmbH)的订单。
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