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建立了电子回旋共振（ＥＣＲ）微波放电等离子体中离子输运过程的蒙特卡罗模型，考虑了离子与中性原子的电荷交换碰撞和弹性碰撞，以及精确依赖于离子能量的电荷交换和动量转移截面，模拟了源于氩气ＥＣＲ微波放电的氩离子向衬底输运的过程，得到与实验报道相符的模拟结果。
ECR微波放电氩离子输运过程的研究
【摘 要】
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建立了电子回旋共振（ＥＣＲ）微波放电等离子体中离子输运过程的蒙特卡罗模型，考虑了离子与中性原子的电荷交换碰撞和弹性碰撞，以及精确依赖于离子能量的电荷交换和动量转移截面，模拟了源
【机 构】
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三束材料改性国家重点联合实验室复旦大学物理系
【出 处】
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核聚变与等离子体物理
【发表日期】
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1998年4期
【基金项目】
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高等学校博士学科点专项科研基金,国家自然科学基金
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