【摘 要】
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为了测量脉冲激光沉积法制备的小面积薄膜的残余应力,并解决Stoney公式在特定情况下误差较大的问题,本文提出了一种基于悬臂梁结构和数值计算的薄膜残余应力测量方法。该方法
【机 构】
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清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京市未来芯片技术高精尖创新中心,美国加州大学伯克利分校材料科学与工程系,美国劳伦斯伯克利国家实验室材料科学部
【基金项目】
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中国国家留学基金资助项目（No.201406210211）
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为了测量脉冲激光沉积法制备的小面积薄膜的残余应力,并解决Stoney公式在特定情况下误差较大的问题,本文提出了一种基于悬臂梁结构和数值计算的薄膜残余应力测量方法。该方法以初始曲率为零的原子力显微镜探针作为衬底梁,在衬底梁上使用脉冲激光沉积方法沉积被测薄膜,并记录衬底梁在薄膜沉积前后的翘曲形貌变化,再结合薄膜厚度、衬底梁几何尺寸、所涉及材料的杨氏模量与泊松比等其他参数,借助数值计算对实验数据进行分析,得出被测薄膜的残余应力。使用该方法测出：基于脉冲激光沉积法在高温环境下制备的二氧化钒薄膜的残余应力为-340
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