【摘 要】
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本文叙述了采用单晶硅压阻效应制作真空变送器的机理和关键工艺．给出了测量结 果和结论，讨论了该元件应用范围等问题。
This paper describes the mechanism and key technolo
【机 构】
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机电部沈阳仪器仪表工艺研究所,机电部沈阳仪器仪表工艺研究所,机电部沈阳仪器仪表工艺研究所
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本文叙述了采用单晶硅压阻效应制作真空变送器的机理和关键工艺．给出了测量结 果和结论，讨论了该元件应用范围等问题。
This paper describes the mechanism and key technology of making the vacuum transducer using single crystal piezoresistive effect. The measurement results and conclusions are given, and the application scope of the device is discussed.
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