激光共焦扫描显微镜在微机电系统中的应用

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:naonao6521
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
研究了激光共焦扫描显微镜(LSCM)在微结构分析中的应用,综述了该项应用的优势。LSCM的高分辨率和光强调节功能,使其可用于大角度测量;与图像处理系统相结合,便于微结构的定性和定量分析;而全自动样片台沿X轴和Y轴的自动扫描实现了图像的拼接功能。实验结果表明:运用LSCM测量的斜面最大角度至少可以达到50°;在悬臂梁的形貌分析中,可获得清晰的三维形貌,同时通过二维定量分析精确测得其形变为3.145μm;在100×物镜下,运用拼接功能获得384μm×288μm的视场面积,解决了高
其他文献
在小学美术教学中,课外写生是非常重要的教学组成部分。因此,小学美术教师应该充分了解课外写生的理论知识,增强自身对于课外写生的实践技巧,以此来提高小学美术教学中课外写
给出了一种新型铰链式高冲击微加速度传感器实际封装结构的有限元模拟分析。首先分析了封装前铰链式加速度传感器的振型,然后分析了封装结构在无灌封和五种不同灌封材料下的前
为降低摩擦对光学精密伺服转台速度跟踪精度的影响,提出了基于LuGre模型的转台摩擦参数辨识和补偿方法。首先,分析转台在自由减速过程中的速度过零现象,采用遗传算法拟合减速
<正> 本文报告了一例用人工股骨头置换并大块异体骨与自体骨移植术治疗左股骨上端良性病变的成功病例。并对此农民患者进行了长达12年的随访。对患者的劳动状况,患髋的功能和
对于小学阶段的学生来说,获知信息最主要的手段和渠道就是阅读,这也是最为简便的方法之一。阅读在学习期间主要分为两个方面,首先是课内阅读,其次就是课外阅读。课内阅读我们
分析在建筑施工中渗漏问题和裂缝问题产生的原因,并提出防治对策。
为解决激光二极管阵列侧泵浦激光板条引起的热效应问题,通过对侧泵浦板条温度场与热形变场分布的解析研究以及对激光二极管阵列侧泵浦激光板条工作状态的分析,建立了符合实际情
摘 要:本研究以首钢篮球俱乐部为例,采用文献资料法、专家访谈法和实地观察法,对其管理现状做系统的调查研究,分析问题并提出对策,帮助首钢俱乐部进一步提升管理水平。结果显示,首钢篮球俱乐部主要通过门票收入、合作权益开发、广告收入、纪念品等途径筹资;管理人员学历水平较高,工作年限也比较长,管理队伍较为稳定,场地设施资源保障条件好;俱乐部引入职业化的专业教练团队,完善梯队建设,完善体能训练和康复医疗,加强
针对星载嵌入式软件的特点,在W模型和X模型的基础上,给出了一种适用于星载嵌入式软件测试过程的模型—蝴蝶模型。该模型不仅完整体现了对整个开发活动的测试,而且支持迭代及变更
根据航弹和MEMS技术特点设计了基于MIMU/GPS的组合导航系统。MIMU采用模块化设计,提高了可靠性;参考JDAM的性能指标,计算各模块指标;采用一种双频圆极化微带天线改善天线的宽带宽角特性,提高了GPS接收机灵敏度;借助GPS广域差分增强系统得到精密GPS星历和广域差分电离层网格改正数,有效解算定位精度提高了10倍以上。根据需求,合理简化组合导航数学模型并采用改进的模糊自适应Kalman滤波