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浸没式光刻和亚波长光刻技术的引进，光刻变得更为复杂；随着光阻厚度变薄和亚波长透镜的使用．对缺陷进行有效管理的需求逐渐增加。本文侧重于用PCM（Photo Cell Monitoring）缺陷检测方式和显影后宏观和微观缺陷检测方式．对光刻缺陷进行监控，以减少缺陷产生。
光刻区缺陷管理
【摘 要】
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浸没式光刻和亚波长光刻技术的引进，光刻变得更为复杂；随着光阻厚度变薄和亚波长透镜的使用．对缺陷进行有效管理的需求逐渐增加。本文侧重于用PCM（Photo Cell Monitoring）缺陷检测
【机 构】
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美国科天中国公司
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2006年11期
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