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期刊论文
工件表面粗糙度的激光散斑测量
工件表面粗糙度的激光散斑测量
来源 :机床 | 被引量 : 0次 | 上传用户:muyanger280
【摘 要】
:
本文介绍用激光散斑对比度测量工件表面粗糙度原理和方法。其测量范围为Ra≤0. 072μm。一般 Ra标准偏差为 0. 002μm,并可分辨国际中划分的各细分级粗糙度数值。本方法为非接触式测量,具有分辨
【作 者】
:
曲辛泉
董树信
【机 构】
:
西安交通大学
【出 处】
:
机床
【发表日期】
:
1990年10期
【关键词】
:
表面粗糙度
激光散班
测量
工件
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本文介绍用激光散斑对比度测量工件表面粗糙度原理和方法。其测量范围为Ra≤0. 072μm。一般 Ra标准偏差为 0. 002μm,并可分辨国际中划分的各细分级粗糙度数值。本方法为非接触式测量,具有分辨率高、测速快、对外界光的干扰和振动不敏感的特点。更多还原
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