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微分干涉相衬显微技术能够实现对超精加工表面光学方法测量。本文对偏振分光棱镜进行了理论分析，简化了其设计过程，选用了合理的材料，完善了系统结构。
超精加工表面DIC测量方法研究
【摘 要】
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微分干涉相衬显微技术能够实现对超精加工表面光学方法测量。本文对偏振分光棱镜进行了理论分析，简化了其设计过程，选用了合理的材料，完善了系统结构。
【机 构】
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九江学院机械工程学院
【出 处】
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九江学院学报
【发表日期】
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2007年6期
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