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MEMS压力传感器项目通过验收
MEMS压力传感器项目通过验收
来源 :机电工程技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dingchuan646
【摘 要】
:
西安交通大学维纳仪器有限责任公司承担的863MEMS领域重大专项课题——“面向石化等重要行业MEMS压力传感器制造与实用化研究”日前通过国家科技部专家组验收。
【出 处】
:
机电工程技术
【发表日期】
:
2006年9期
【关键词】
:
压力传感器
MEMS
通过验收
项目
有限责任公司
西安交通大学
国家科技部
专家组
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西安交通大学维纳仪器有限责任公司承担的863MEMS领域重大专项课题——“面向石化等重要行业MEMS压力传感器制造与实用化研究”日前通过国家科技部专家组验收。
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