【摘 要】
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A novel test structure to characterize the fracture strength of MEMS(Micro-electro-Mechanical Systems)thin films is presented.The test structure is comprised of
【机 构】
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SchoolofElectronicScienceandEngineering
【基金项目】
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supported by the National High Technology Program of P.R.China under Grant No.2015AA042604.
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A novel test structure to characterize the fracture strength of MEMS(Micro-electro-Mechanical Systems)thin films is presented.The test structure is comprised of a micro fabricated chevron-shaped thermal actuator and test specimen.The test structure is cap
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