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期刊论文
容栅测角数显仪的研制
容栅测角数显仪的研制
来源 :现代科学仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huimin0609
【摘 要】
:
本文介绍了容栅传感器测量位移的工作原理及其研究应用发展概况,并给出了分辨率为1'的容栅测角数显仪的具体设计。
【作 者】
:
胡跃全
刘荣进
【机 构】
:
中国科技大学精密机械与仪器系,230026
【出 处】
:
现代科学仪器
【发表日期】
:
1996年3期
【关键词】
:
容栅传感器
鉴相
测角
数显
位移测量仪
capacitive transducer
phase detecting
angular measurement
d
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本文介绍了容栅传感器测量位移的工作原理及其研究应用发展概况,并给出了分辨率为1'的容栅测角数显仪的具体设计。
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