容栅测角数显仪的研制

来源 :现代科学仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huimin0609
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本文介绍了容栅传感器测量位移的工作原理及其研究应用发展概况,并给出了分辨率为1'的容栅测角数显仪的具体设计。
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