【摘 要】
：
离子束溅射(IBS)与电子束蒸发(EBE)是常用的SiO2薄膜制备方法。基于椭圆偏振法和全光谱拟合法,研究了离子束溅射和电子束蒸发两种工艺方法制备的SiO2薄膜的可见光与红外波段
【机 构】
：
天津津航技术物理研究所薄膜光学重点实验室,钦州学院物理与材料科学学院,
论文部分内容阅读
离子束溅射(IBS)与电子束蒸发(EBE)是常用的SiO2薄膜制备方法。基于椭圆偏振法和全光谱拟合法,研究了离子束溅射和电子束蒸发两种工艺方法制备的SiO2薄膜的可见光与红外波段光学常数色散特性。在可见光波段的色散,SiO2薄膜的折射率均高于块体材料;在红外波段的色散,通过对特征吸收峰分析确定了SiO2薄膜的化学缺陷。研究结果表明:IBS SiO2薄膜的化学缺陷少于EBE SiO2薄膜,仅存在少量的H2O分子和Si-OH化学键,在EBE SiO2薄膜中,除这两种缺陷外还包含大量的Si-H化学键缺陷,说明EBE SiO2薄膜中的化学反应缺陷多于IBS SiO2薄膜,从而证明采用IBS工艺可有效控制SiO2薄膜的化学缺陷。
其他文献
把儿童看作儿童,是卢梭儿童观的主要内容。对其理论来源和其丰富的内涵进行了详细阐述和评价。卢梭所提出的尊重儿童的现在,承认其童年生活的价值的观点对我国当前实施素质教
当代陶瓷首饰设计注重创新和发展,突破了传统首饰观念的束缚,凭借自身的材质优势,呈现出极为新颖个性的首饰形态。同时随着新一代消费者个性需求的不断提升,陶瓷首饰设计在凸
教育活动有无规律可寻?教育学能否成为一门科学?教育理论究竟对教育实践有何指导作用?教育者是否必须掌握教育科学?可以说,自人们开始理性地思考教育问题,并致力于探索高效、
以奶粉、绿茶和咖啡粉等为主要原料,采用正交设计方法,进行了咖啡奶茶主要原料配比试验。并以稳定性作为主要评定指标,研究了乳化剂对咖啡奶茶油脂析出率、离心沉淀率等其稳
<正>左与右是一对方位词,它们在不同的领域、不同的场合,有着不同的含义诊脉:男左 女右 中医诊脉,常常是男子取左手,女子取右手,这是为什么呢?首先,我国古代哲学认为,宇宙
福柯的话语理论揭示出话语是权力的产物,在话语的实践中潜藏着权力的运作。话语权力既是压制性的,也是生产性的。对微观权力的分析,即对现代社会中由日常生活片段构成的社会
职校生年龄基本在十四五岁至十八九岁,处于青春期或青年初期,是心理变化最激烈的时期,也是产生心理困惑、心理冲突最多的时期,这个时期学生生理趋向成熟而心理还远没有成熟,
目的了解近年来佛山市南海区学校直饮水的卫生质量。方法 2007—2011年间每年对辖区内所有使用直饮水机学校进行抽样监测,每所学校随机抽查1～2台直饮水机,开展检测的项目为13～3
对低帧频、云层背景下,低信噪比的弱点目标探测率降低的问题,提出了光流直方图(OFH)的定义,并且给出了OFH的性质。分析了低帧频下红外图像探测弱点目标时探测率降低的原因,提
结合三明市东新五路大桥主桥高桩承台钢吊箱的施工实例,介绍单壁钢吊箱的设计要点、结构组成及施工方法,总结深水高桩承台钢吊箱施工的成功经验,为同类工程施工提供参考。