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纳米定位技术研究现状
纳米定位技术研究现状
来源 :机械设计与研究 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaomi1028
【摘 要】
:
纳米定位技术是前沿科学、工程技术领域的关键技术之一 ,是实现纳米加工和纳米测量的基础。本文介绍了纳米定位技术的研究现状 ,给出几种近年来研制的典型纳米定位机构 ,对其
【作 者】
:
王建林
胡小唐
【出 处】
:
机械设计与研究
【发表日期】
:
2000年01期
【关键词】
:
纳米定位技术
柔性铰链
微位移驱动器
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纳米定位技术是前沿科学、工程技术领域的关键技术之一 ,是实现纳米加工和纳米测量的基础。本文介绍了纳米定位技术的研究现状 ,给出几种近年来研制的典型纳米定位机构 ,对其工作原理及优缺点进行了分析 ,并指出了该技术今后的发展方向及需要解决的几个问题
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