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提出了基于ZnO压电薄膜多层结构的2．4GHz射频薄膜体声波谐振器，并进行了研究。采用修正后的Mason等效电路模型对器件的谐振特性进行了分析和模拟。给出了采用MEMS工艺制备器件的工艺流程，并利用射频网络分析仪对实验器件进行了测试。利用多点数值拟合的方法消除射频测试中引入的寄生分布参数，提取出器件的实际参数：器件的串联谐振频率，和并联谐振频率￡分别为2．3714GHz和2．3772GHz，相应的有效机电耦合系数为0．598％；串联谐振频率处和并联谐振频率处的Q值分别为500．3和425．5，f·