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四探针测量金属薄膜电阻率是当今微电子技术领域中常用的方法.本文介绍了如何把"四探针测量金属薄膜电阻率"的实验引入到普通物理实验教学中,以及在实验内容的编排上如何培养学生发现问题和解决问题的能力等方面的具体做法.
把“四探针测量金属薄膜电阻率”引入普通物理实验
【摘 要】
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四探针测量金属薄膜电阻率是当今微电子技术领域中常用的方法.本文介绍了如何把"四探针测量金属薄膜电阻率"的实验引入到普通物理实验教学中,以及在实验内容的编排上如何培养
【机 构】
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北京科技大学
【出 处】
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大学物理
【发表日期】
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2004年05期
【基金项目】
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国家工科物理基础课程教学基地资助项目
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