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GexSi1—x/Si异质结长波长红外探测器
GexSi1—x/Si异质结长波长红外探测器
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:energyjx
【摘 要】
:
描述了 Ge_xSi_(1-x)/Si 异质结长波长红外探测器的基本工作原理及结构,并结合器件介绍了实现异质结生长的各种工艺,如 MBE,CVD 等。
【作 者】
:
熊洸骏
【机 构】
:
重庆光电技术研究所工程师
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
1993年1期
【关键词】
:
红外探测器
异质结
化学汽相淀积
Infrared Detectors
Heterojunctio
CVD
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描述了 Ge_xSi_(1-x)/Si 异质结长波长红外探测器的基本工作原理及结构,并结合器件介绍了实现异质结生长的各种工艺,如 MBE,CVD 等。
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