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期刊论文
一种热驱动微型电场传感器设计与仿真
一种热驱动微型电场传感器设计与仿真
来源 :中国机械工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tanyali528
【摘 要】
:
设计了一种新型的热驱动微型电场传感器,该传感器具有驱动电压低、工作频带宽、工艺步骤简单等优点;阐述了该电场传感器的工作原理,描述了设计方案,并给出了驱动部分的仿真结
【作 者】
:
叶超
龚超
陈贤祥
彭春荣
陈绍凤
夏善红
【机 构】
:
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院研究生院,中国科学院研究生院,中国科学院研究生院,中国科学院研究生院
【出 处】
:
中国机械工程
【发表日期】
:
2005年z1期
【关键词】
:
热驱动
微型
电场传感器
仿真
【基金项目】
:
国家863高技术研究发展计划资助重大项目(2004AA404030)
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设计了一种新型的热驱动微型电场传感器,该传感器具有驱动电压低、工作频带宽、工艺步骤简单等优点;阐述了该电场传感器的工作原理,描述了设计方案,并给出了驱动部分的仿真结果,计算了感应电流的大小;讨论了所涉及的工艺过程.
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