【摘 要】
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对于高集成高速度高可靠性集成电路多层布线和表面钝化所需的“完美薄膜”,研究成功硅烷和氧气反应体系的等离子增强化学气相淀积技术。生长物是纯SiO_2优质膜。重点探索并解
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对于高集成高速度高可靠性集成电路多层布线和表面钝化所需的“完美薄膜”,研究成功硅烷和氧气反应体系的等离子增强化学气相淀积技术。生长物是纯SiO_2优质膜。重点探索并解决了此体系均匀性极差的关键难题,获得±3％的良好均匀性。与国际上流行的硅烷和氧化亚氮反应体系相比,本技术可能更好些。
For the “perfect film” required for multilayer wiring and surface passivation in highly integrated high-speed, high-reliability integrated circuits, the plasma-enhanced chemical vapor deposition technique for successful silane and oxygen reaction systems was studied. The growth is pure SiO 2 premium film. Focus on and solve the key problem of poor uniformity of the system, get good uniformity of ± 3%. Compared with the international popular silane and nitrous oxide reaction system, the technology may be better.
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