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设计并实现了一种采用进口电火花技术加工的D波段电感膜片耦合的矩形波导空腔滤波器。采用等效电路法设计了一个140 GHz矩形空腔带通滤波器。采用有限元仿真软件HFSS分析了腔体个数对滤波器主要性能的影响，最终成功设计了一个性能优良的四阶空腔滤波器，中心频率（140±3）GHz，带内插入损耗S21在-3 dB以内，回波损耗S11在-20 dB以下。采用电火花微加工技术成功加工出了四阶滤波器的主体部分，相应完成了结构键合等关键工艺，首次制作了基于电火花技术的D波段矩形波导空腔滤波器。测试结果为中心频率