A new touch mode capacitive pressure sensor with two deformable diaphragms

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wendychenwang

【摘要】

：

To achieve the characteristics of better linearity, a new type of touch mode capacitive pressure sensor named as DDTMCPS is devised, which has a pair of deforma

【作者】

：

JIAOYu-zhong

【机构】

：

StateKeyLabofOpticalTechnologiesforMicrofabrication

【出处】

：

微纳电子技术

【发表日期】

：

2003年7期

【关键词】

：

电容性压力传感器变形薄膜 DDTMCPS 直线性

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To achieve the characteristics of better linearity, a new type of touch mode capacitive pressure sensor named as DDTMCPS is devised, which has a pair of deformable sensing diaphragms. Compared to present touch mode capacitive pressure sensors, the new sen

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