薄膜支承与超精密测试导轨的固体润滑

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本文介绍了纳米级超精密测试导轨的固体润滑方式以及同时用于实现支承和润滑的聚合物薄膜支承。研究了导电有机物电化学聚合薄膜既作为运动副元素又作为运动副固体自润滑物质时的摩擦磨损性能及其对导轨运动精度和精度保持性的影响。考察了用于减磨的有机物薄膜的耐磨性。
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