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X射线sin^2φ法是薄膜残余应力分析中比较理想的测量手段，但择优取向的存在导致薄膜各向异性，从而会影响测试曲线2θφ～sin^2φ的线性关系，表现为曲线的震荡现象。本文利用化学气相沉积（CVD）技术制备（110）择优取向金刚石膜样品，采用X射线sin^2φ法对样品残余应力进行测试，通过合理选择衍射晶面和妒角避免择优取向对测量结果的影响，使测试曲线保持良好的线性。然后基于双金属和薄片弯曲理论模型对膜内热应力进行计算，进而得出样品内本征应力状态和大小。结果表明：金刚石薄膜内热应力总为压应力，择优取向使得晶粒