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微电子技术用于硅基底导波光学互连
微电子技术用于硅基底导波光学互连
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:junior9919
【摘 要】
:
本文论述了微电子技术在硅基底导波光学互连中的应用。并对技术上存在着的问题进行了讨论,侧重点是关于集成单片光发射器和接收电路与光互连器件工艺兼容问题,并指出了将来的
【作 者】
:
祖继锋
姜铃珍
洪晶
陈学良
【机 构】
:
哈尔滨工业大学应用物理系,上海冶金所微电子分部150006,150006,150006
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
1992年4期
【关键词】
:
微电子
硅基底
光学互连
电路
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本文论述了微电子技术在硅基底导波光学互连中的应用。并对技术上存在着的问题进行了讨论,侧重点是关于集成单片光发射器和接收电路与光互连器件工艺兼容问题,并指出了将来的发展方向。
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