【摘 要】
:
采用离子溅射方法在硅衬底上淀积Pt/Ti/Si多层结构,研究了不同退火温度(500℃和800℃)、相同退火时间(30 min)固相反应形成PtSi薄膜的工艺.通过XRD、AES等测试方法,研究了原
论文部分内容阅读
采用离子溅射方法在硅衬底上淀积Pt/Ti/Si多层结构,研究了不同退火温度(500℃和800℃)、相同退火时间(30 min)固相反应形成PtSi薄膜的工艺.通过XRD、AES等测试方法,研究了原子的互扩散和反应过程.结果表明,在500℃退火时,由于Pt-Ti-O-Si过渡层的存在,使得Pt和Si反应不够充分,生成物中有部分Pt2Si存在,而800℃退火时,由于过渡层Ti与Si反应生成TiSi2,消耗了大量的Si,使得Pt与Si反应也不够充分.根据上述实验,给出了Pt/Ti/Si三元固相反应在不同退火温度
其他文献
现在,平板电脑在我们生活占据越来越重要的地位,在用平板看电影视频时,你是否因为需要将其一直拿在手上而苦恼?又或许,平板的屏幕太小,让你无法尽兴?现在一切都不是问题了。联想推出
现代经济的快速发展使得人们的生活水平大幅提高,人们已经不局限于纯粹的生存,开始把更多的精力和财力放在了享受生活上。而旅游,成为人们享受生活的重要方式之一,是人们生活中必
作家孙惠芬以"歇马山庄"系列小说,建构起一个辽南乡村世界为文坛瞩目,其中篇小说《民工》《歇马山庄的两个男人》连缀在一起完整写出了一个为生计进城,因丧妻返乡的民工,如何在
我们见到的太阳是8分钟之前的太阳,见到的月亮是1.3秒之前的月亮,见到一英里以外的建筑是5微秒之前的影像,而富士(FUJIFILM ) X100T就是为记录这些曾经美好的过去而存在的。最新的
当前,户外运动已经成为一项时尚、大众性的娱乐休闲方式,越来越多人参与其中,各种运动拍摄产品也随之衍生,有高端专业的GoPro,也有亲民业余的HTC如影。虽然两款产品都主打运动拍摄
目的:探讨针药结合治疗肾阳虚型精液异常男性不育症的临床疗效。方法:将80例男性不育症患者随机分为两组,治疗组40例肾阳虚型精液异常不育症患者进行针刺治疗,并加服中药补肾
国家安全生产监督管理总局事故查询系统显示,2000年-2013年上半年,甘肃省共发生安全生产事故788起,死亡2 708人.2000年-2004年,甘肃省安全生产事故起数和死亡人数呈现上升趋
现代交通工具在城市化进程中发挥了重要的作用,地铁作为现代交通的重要成分,保障其通信系统的正常运行是确保地铁正常运作的关键。地铁通信系统中传输系统是确保整个系统安全运
研究了一个用单片机控制的雷达回波采集系统,分析了目标雷达回波信号的特性,说明了回波信号采集系统的总体设计和采集控制模块的设计,对控制模拟的软件功能做了简要的介绍。
目的:观察"温灸盒"灸下腹部结合新斯的明穴位注射治疗肛肠术后尿潴留的临床疗效。方法:将128例患者按随机数字表法分为治疗组64例和对照组64例。治疗组采用"温灸盒"灸下腹部加三阴