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陶氏化学公司旗下的陶氏电子材料事业群，日前推出了IKONIC4000系列的化学机械研磨（CMP）垫产品，该系列研磨垫初期将主要面向铈基应用。
陶氏电子材料推出IKONIC 4000新CMP研磨垫
【摘 要】
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陶氏化学公司旗下的陶氏电子材料事业群，日前推出了IKONIC4000系列的化学机械研磨（CMP）垫产品，该系列研磨垫初期将主要面向铈基应用。
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2014年5期
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