HfO_2单层薄膜的微结构缺陷研究

来源 :四川大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:sunrise12345678
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HfO2是一种优良的高折射率材料(在可见光区域折射率约为2),并且有良好的热稳定性,熔点也很高(约为2900℃).HfO2在紫外波段的透过性也比TiO2和ZrO2好,并且这个优点不是以牺牲它在可见波段、近红外及中红外的良好透过性能为代价的.因此,近年... HfO2 is an excellent high refractive index material (with a refractive index of about 2 in the visible region) and has good thermal stability and high melting point (about 2900 ° C). HfO2 is also more transparent in the UV range than TiO2 and ZrO2, and this advantage is not at the expense of its good transmission in the visible, near-infrared and mid-infrared ranges. So in recent years ...
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