【摘 要】
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用在两种衬底(SrTiO_3和LaAlO_3)上生长的YBa_2Cu_3O_(7-x)。薄膜制成高灵敏的热敏型高温超导红外探测器。经500K标准黑体的测量,在10Hz调制频率时,以SrTiO_3为衬底的器件,D~
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院电子研究所
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用在两种衬底(SrTiO_3和LaAlO_3)上生长的YBa_2Cu_3O_(7-x)。薄膜制成高灵敏的热敏型高温超导红外探测器。经500K标准黑体的测量,在10Hz调制频率时,以SrTiO_3为衬底的器件,D~*(500,10,1)达8.2×10~8cm·Hz~(1/2)/W,NEP(500,10,1)达1.6×10~(10)W/Hz~(1/2);以LaAlO_3为衬底的器件,NEP(500,10,1)达10~(-11)W/Hz~(1/2)。还测量并分析了D~*和NEP随频率的变化和噪声频谱。
YBa_2Cu_3O_ (7-x) was grown on both substrates (SrTiO_3 and LaAlO_3). Film made of highly sensitive thermal type of high temperature superconducting infrared detector. After measuring 500K standard blackbody, the device with SrTiO_3 as the substrate has a D * * (500,10,1) of 8.2 × 10 ~ 8cm · Hz ~ (1/2) / W and a NEP ( 500, 10, 1) reaches 1.6 × 10 ~ (10) W / Hz ~ (1/2). For LaAlO_3 substrate, NEP (500,10,1) ~ (1/2). Also measured and analyzed D ~ * and NEP with frequency changes and noise spectrum.
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