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  5. 金属基Pt/ITO薄膜热电偶的制备

金属基Pt/ITO薄膜热电偶的制备

来源 :测控技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lovemy521
【摘 要】
：
采用多层膜结构制备了金属基Pt/ITO薄膜热电偶,薄膜热电偶由Ni基合金基片、NiCrAlY过渡层、热生长Al2O3层、Al2O3绝缘层、Pt/ITO功能层和Al2O3保护层构成。静态标定结果表明：
【作 者】
：
赵文雅 蒋洪川 陈寅之 张万里 刘兴钊 彭少龙 唐磊 
【机 构】
：
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,中国燃气涡轮研究院测控室
【出 处】
：
测控技术
【发表日期】
：
2013年4期
【关键词】
：
PT ITO薄膜热电偶 静态标定 热电势 塞贝克系数 Pt/ITO thin-film thermocouples  static calibration  t 
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采用多层膜结构制备了金属基Pt/ITO薄膜热电偶,薄膜热电偶由Ni基合金基片、NiCrAlY过渡层、热生长Al2O3层、Al2O3绝缘层、Pt/ITO功能层和Al2O3保护层构成。静态标定结果表明：样品的平均塞贝克系数为107.45μV/℃。测试温度可达到1000℃。时效处理可以有效提高薄膜热电偶的输出热电势。
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