Pb1—xLaxTiO3薄膜的制备及介电性质的研究

来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：christian1985

【摘要】

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在 Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上用溶胶 -凝胶法制备了 Pb1-xLaxTiO3薄膜 ,对膜进行 XRD、 SEM、介电、铁电性能测试 , 研究了退火温度、掺 La量对薄膜性能的影响 , 结果发现在

【作者】

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朱卫东葛水兵沈明荣宁兆元

【机构】

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苏州大学薄膜材料实验室

【出处】

：

功能材料与器件学报

【发表日期】

：

2001年4期

【关键词】

：

溶胶-凝胶 PLT薄膜制备介电性质 Sol -gelPLT thin films

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在 Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上用溶胶 -凝胶法制备了 Pb1-xLaxTiO3薄膜 ,对膜进行 XRD、 SEM、介电、铁电性能测试 , 研究了退火温度、掺 La量对薄膜性能的影响 , 结果发现在 600℃下退火 1h的 PLT薄膜呈现钙钛矿结构 , 具有 (100)面择优取向 . 在摩尔比 x≤ 0.2的范围内 , 薄膜的矫顽场、剩余极化强度都随着掺 La量的增加而降低 , 而其相对介电常数和介质损耗却随着掺 La量的增加而增加 .

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