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蒙特卡罗模拟技术可以有效提高核辐射探测分析效率、降低分析成本，在促进X荧光分析技术发展过程中也发挥了重要作用。在应用蒙特卡罗模拟能量色散X荧光分析中，为使蒙特卡罗模拟元素特征X射线注量谱与实验能谱之间的物理差异更小，提出了一种模拟注量展宽算法。首先依据离散统计物理理论，建立了Si-PIN半导体探测器对X射线的响应函数模型，并利用加权非线性最小二乘法拟合得到各系数，再对系数进行归一化处理，得到归一化后的响应函数R（E，E′）。然后利用R（E，E′）对模拟注量进行展宽转换，得到脉冲幅度谱（pulse heig