低烧ZnO-TiO2微波陶瓷介电特性及片式多层带通滤波器研究

来源 :微波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huangsheng200888
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采用材料特性、器件设计及制备工艺相结合的三位一体研究模式,研究了低烧ZnO-TiO2微波陶瓷介电特性,利用高频结构仿真软件HFSS对低烧陶瓷带通滤波器微波特性进行建模,重点介绍材料介电特性对片式带通滤波器性能影响的优化仿真,采用LTCC制造工艺技术制备片式多层带通陶瓷滤波器。研究结果表明:ZnO-TiO2微波陶瓷在895~910℃烧结。陶瓷相ZnTiO3、TiO2稳定存在。具有较佳的微波介质特性。在900℃烧结3h。其介电性能:εr=27.05、Of=19822GHz、τf=2ppm/℃。该材料与Ag电极
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