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期刊论文
准分子激光蒸发:一种新型的镀膜技术
准分子激光蒸发:一种新型的镀膜技术
来源 :物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:rliang
【摘 要】
:
准分子激光蒸发是一种新型的镀膜技术.它是近几年来在高温超导薄膜的研制过程中发展起来的.本文简要介绍了准分子激光蒸发镀膜技术的基本原理、工艺特点及其生长动力学过程.
【作 者】
:
李贻杰
【机 构】
:
北京大学物理系北京100871
【出 处】
:
物理
【发表日期】
:
1993年3期
【关键词】
:
镀膜
超导膜
激光技术
准分子激光
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准分子激光蒸发是一种新型的镀膜技术.它是近几年来在高温超导薄膜的研制过程中发展起来的.本文简要介绍了准分子激光蒸发镀膜技术的基本原理、工艺特点及其生长动力学过程.
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