【摘 要】
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<正> 随着电子产品的广泛应用和技术发展,人们对电子产品的微型化提出了迫切的要求。经过长期努力,只有在半导体器件和微细加工技术出现后,才能使人们的这种愿望得以实现。当
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<正> 随着电子产品的广泛应用和技术发展,人们对电子产品的微型化提出了迫切的要求。经过长期努力,只有在半导体器件和微细加工技术出现后,才能使人们的这种愿望得以实现。当硅单片集成电路问世后,人们就把这种集成电路叫作微电子,把研究集成电路的学问叫做“微电子学”,即“Mieroelectronics”。硅单片集成电路的确使电子产品达到了微型的境界,今天已可以将一台彩色电视机,一台计算机或一台通信机的核心部分作在一个小小的半导体芯片上。但只是半导体芯片对构成一部完整的微型化电子设备还感不足。随着技术的
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