【摘 要】
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运用一种新的测量单面镀膜膜层光学参数的方法 ,对不同热处理的GeTe半导体薄膜样品的光学参数进行了测量 ,准确地获得了被测薄膜材料的光学参数 ,并采用椭圆偏振光谱测量作比
【机 构】
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运用一种新的测量单面镀膜膜层光学参数的方法 ,对不同热处理的GeTe半导体薄膜样品的光学参数进行了测量 ,准确地获得了被测薄膜材料的光学参数 ,并采用椭圆偏振光谱测量作比较研究。以此为基础 ,对用椭偏仪测得的数据进行拟合计算 ,得出了样品材料在 2 50 830nm波段范围的复折射率曲线。
The optical parameters of GeTe thin film samples with different thermal treatments were measured by a new method of measuring the optical parameters of single-sided coating film. The optical parameters of the tested thin film materials were accurately obtained and measured by ellipsometry compare research. Based on this, the data of the ellipsometer were fitted and calculated, and the complex refractive index curve of the sample material in the wavelength range of 2 50 830 nm was obtained.
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