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期刊论文
一种硅压力传感器的高精度宽温度补偿设计
一种硅压力传感器的高精度宽温度补偿设计
来源 :传感器世界 | 被引量 : 5次 | 上传用户:DIWUTANG
【摘 要】
:
本文提出了一种硅压力传感器的温度补偿方法,同时给出了如何进行温度补偿以及非线性修正的具体算法,实现了硅压力传感器宽温度范围下的高精度测量。
【作 者】
:
胡永建
【机 构】
:
西部钻探工程公司吐哈钻井工艺研究院
【出 处】
:
传感器世界
【发表日期】
:
2010年04期
【关键词】
:
硅压力传感器
温度补偿
三次样条插值
silicon pressure sensor
temperature compensation
cubic spl
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本文提出了一种硅压力传感器的温度补偿方法,同时给出了如何进行温度补偿以及非线性修正的具体算法,实现了硅压力传感器宽温度范围下的高精度测量。
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