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SnO2—Ag-SnO2结构元件室温下对H2S的敏感特性研究
SnO2—Ag-SnO2结构元件室温下对H2S的敏感特性研究
来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaosongshu2009
【摘 要】
:
以SnCl4和O2为源物质,采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)和浸渍法掺Ag技术制备了SnO2-Ag-SnO2结构薄膜,在20℃下该结构薄膜对H2S具有良好的气敏特性,即高灵敏度、良好的选择特性
【作 者】
:
李莉
童茂松
翁爱华
【机 构】
:
大庆石油学院化学化工学院,大庆石油管理局测井公司研发中心,吉林大学地球探测科学与技术学院
【出 处】
:
传感技术学报
【发表日期】
:
2006年4期
【关键词】
:
PECVD
H2S气体传感器
气敏特性
PECVD
H2S sensors
gas sensitive properties
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以SnCl4和O2为源物质,采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)和浸渍法掺Ag技术制备了SnO2-Ag-SnO2结构薄膜,在20℃下该结构薄膜对H2S具有良好的气敏特性,即高灵敏度、良好的选择特性和开关式响应特性。
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