紫外荧光二氧化硫分析仪中滤光器的优化

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lucien001
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为了获得紫外荧光二氧化硫分析仪中所需的213.4nm激发光, 研究了采用色散型紫外滤光器的参数优化, 系统分析了装置中入射和出射狭缝对输出光的强度、稳定性及光谱纯度的影响, 探讨了其物理机制, 并通过实验得到了该装置中的最优参数为入射狭缝宽度50μm, 出射狭缝宽度40μm。该结果对于提高仪器的准确性、灵敏度及长期稳定性等性能参数有重要意义。
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