工业规模气体渗硼工艺的研究

来源 :武汉食品工业学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sunzheng_1985
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较系统地研究了BCl3浓度,气体流速,温度和时间等工艺参数对渗硼效果的影响规律。优选出在BCl3用量比国内外文献介绍的用量低得多的情况下,仍可获得高质量渗硼层的气体渗硼工艺。
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