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本文主要介绍了目前多晶硅装置中广泛应用的洁净生产技术。结合实际应用项目,阐述了洁净设计对于多晶硅产品质量的重要性。通过简单叙述多晶硅还原车间的生产流程,将自动化工程划分为内外两个系统:内部系统,针对仪表材料、结构型式、安装流程等方面,提供了常用的仪表设计方法;外部系统,通过对洁净室空气净化系统的自动控制操作要求进行分析,提出了自动控制解决方案。