【摘 要】
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采用蒙特卡罗方法, 对以CH4/H2混合气体为源气体的电子助进热丝化学气相沉积(EACVD)中的氢原子发射过程进行了模拟. 在模拟中考虑了电子与H2的弹性碰撞及振动激发、分解、电
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采用蒙特卡罗方法, 对以CH4/H2混合气体为源气体的电子助进热丝化学气相沉积(EACVD)中的氢原子发射过程进行了模拟. 在模拟中考虑了电子与H2的弹性碰撞及振动激发、分解、电子激发(包括Hα, Hβ, Hγ谱线的激发)、电离及分解电离等非弹性碰撞过程; 与CH4的碰撞考虑了弹性动量传输及振动激发、分解、电子激发、分解激发(包括Hα, Hβ, Hγ谱线的激发)、电离及分解电离等非弹性碰撞过程. 研究了不同实验条件下产生的H, CH3的数目与氢原子谱线相对强度的关系, 给出了一种利用氢原子谱线来获得最佳成
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