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提出了一种基于面向服务架构（SOA）的分布式开放控制系统模型。整个参考模型由设备抽象层、基本控制模块层、服务层和应用层四层组成。各层内部采用面向对象的方法进行设计，各层相对独立，层间的耦合性比较小。服务层包含了所有分布式子系统的服务抽象和封装，以服务的方式供应用层使用。这种控制系统模型，开放性好，各个模块的可重用性强，开发效率高。使用这种框架，成功开发了IC工艺装备中的刻蚀机硅片传输原型系统，而且取得了很好的效果。