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为了消除单波长消光椭圆偏振仪测量薄膜光学参数的测量误差，从椭圆偏振仪的测量原理和方法分析了椭圆偏振法测量薄膜折射率和厚度可能的误差来源．表明对测量结果影响比较大的是起偏器P的零点误差瓯和1／4波片偏离45°的数值误差δ2，给出了消除误差的方法．用椭圆偏振仪进行了测量实验，对测量结果进行了系统误差修正，修正比可达到1．7％．