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在单晶硅表面制得花生酸锆Langmuir-Blodgett薄膜,对该薄膜在500℃条件下热处理30 min,得到致密ZrO2薄膜.利用AFM,XPS,SEM对其结构和形貌进行表征,摩擦磨损试验结果表明,利用该方法制备的ZrO2薄膜表现出良好的减摩抗磨性能.
LB技术制备的ZrO2纳米薄膜摩擦学行为
【摘 要】
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在单晶硅表面制得花生酸锆Langmuir-Blodgett薄膜,对该薄膜在500℃条件下热处理30 min,得到致密ZrO2薄膜.利用AFM,XPS,SEM对其结构和形貌进行表征,摩擦磨损试验结果表明,利用
【出 处】
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润滑与密封
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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