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采用X射线衍射谱法和红外吸收光谱法对质子交换和退火质子交换LiNbO3光波导的特性进行了研究。研究结果表明:在LiNbO3晶体衬底X射线衍射主峰的左侧出现质子交换LiNbO3光波导的伴峰,则质子交换使光波导层Li1-xHxNbO3的晶格常数比衬底的晶格常数稍大,产生垂直于表面的应变,波导经过退火后,伴峰向主峰靠近,应变减少。质子交换波导中的OH基团的红外吸收光谱在3500和3300cm^-1处存在特征峰,波导经过退火后,3300cm^-1处的特征峰基本消失,而3500cm^-1处的吸收强度基本不变。实验还