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由于半导体晶圆制造过程的复杂性,使得实时控制过程难于实施.针对光刻区的不同状态,提出一种基于Kohonen神经网络的多策略实时调度方法,以适应生产过程中的复杂变化.仿真结果表明,该调度方法是有效可行的.
基于Kohonen神经网络的晶圆光刻流程动态调度方法
【摘 要】
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由于半导体晶圆制造过程的复杂性,使得实时控制过程难于实施.针对光刻区的不同状态,提出一种基于Kohonen神经网络的多策略实时调度方法,以适应生产过程中的复杂变化.仿真结果
【机 构】
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上海交通大学机械与动力工程学院
【出 处】
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上海交通大学学报
【发表日期】
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2009年11期
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